用途:FPC基板與制程載具上的精密貼附
配置:
定位:膠帶粘貼 或 真空吸附
兼容性:適配150mm - 300mm FPC尺寸
UPH: 2300
特征:
貼附精度:±30um
X/Y/Z軸重復定位精度:±2um
Θ軸絕對定位精度:±1arcsec
多臺設備串接實現更高UPH